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lxz.860701

银虫 (正式写手)

[求助] 真空热压烧结炉抽真空出现问题,各位能帮我分析哪出问题了吗?

麻烦各位帮帮忙啊!实验室真空热压烧结炉以前的工作条件是粗抽阀和罗茨泵真空度能抽到0.3pa,然后扩散泵工作,能达到0.03pa以下。
    现在出现问题了,粗抽阀和罗茨泵只能抽到2.1pa,强行打开罗茨泵的话花很长时间也能缓慢抽到0.07pa,但是达不到0.03pa,而且如果加热的话压强会很快上升到几十pa到几百pa,请问这是哪快出问题了?
     补充,抽真空时间足够长,有好几个小时,都抽不上去,还有扩散泵油已经换了,还是抽不上去。关掉机械泵和扩散泵,在一个小时内炉子就能有几千pa。初步怀疑是漏气,但是不知道哪漏气,请问各位有什么办法吗?谢谢了!都已经好几个月了,始终解决不了啊!毕业在即,炉子不好使了,实验无法进行了!
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lxz.860701

银虫 (正式写手)

送鲜花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by cmh09 at 2013-03-10 15:50:49
检查下泵是不是有问题比如叶片磨损,管道不畅,或者油太久没换了。
另外你这个漏气可能性很大。有一种方法比较好检查,就是把炉门光紧,锁上螺丝,在所有有课能漏气的地方抹上肥皂泡。然后在进气口充气,哪个地方有 ...

扩散泵油已经刚换完,还是不好使啊。另外你说的在进气口充气,用什么方式充气啊。总之,挺感谢你的啊!
4楼2013-03-10 19:45:09
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lxz.860701

银虫 (正式写手)

没有人遇到同样的问题吗?唉!闹心啊!
2楼2013-03-10 14:46:10
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cmh09

金虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lxz.860701: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-03-10 19:45:49
检查下泵是不是有问题比如叶片磨损,管道不畅,或者油太久没换了。
另外你这个漏气可能性很大。有一种方法比较好检查,就是把炉门光紧,锁上螺丝,在所有有课能漏气的地方抹上肥皂泡。然后在进气口充气,哪个地方有鼓泡就是哪个地方漏气。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

3楼2013-03-10 15:50:49
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chanown

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lxz.860701: 金币+5, 有帮助 2013-03-11 08:46:53
分段检查,听说的,也没使过,活动部位的密封仔细检查下
5楼2013-03-11 08:02:08
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