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lxz.860701银虫 (正式写手)
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[求助]
真空热压烧结炉抽真空出现问题，各位能帮我分析哪出问题了吗？
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麻烦各位帮帮忙啊！实验室真空热压烧结炉以前的工作条件是粗抽阀和罗茨泵真空度能抽到0.3pa,然后扩散泵工作，能达到0.03pa以下。 现在出现问题了，粗抽阀和罗茨泵只能抽到2.1pa,强行打开罗茨泵的话花很长时间也能缓慢抽到0.07pa,但是达不到0.03pa,而且如果加热的话压强会很快上升到几十pa到几百pa,请问这是哪快出问题了？ 补充，抽真空时间足够长，有好几个小时，都抽不上去，还有扩散泵油已经换了，还是抽不上去。关掉机械泵和扩散泵，在一个小时内炉子就能有几千pa。初步怀疑是漏气，但是不知道哪漏气，请问各位有什么办法吗？谢谢了！都已经好几个月了，始终解决不了啊！毕业在即，炉子不好使了，实验无法进行了！ |
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chanown
木虫 (著名写手)
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5楼2013-03-11 08:02:08