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有了解SU-8光刻胶发展史的吗？帮忙！
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| 哪位朋友熟悉SU-8光刻胶的发展史，想了解下SU-8最早用于什么方向，最早用于MEMS领域是怎么做的，最早用来做多层结构的文献，不胜感激。能提供相应的参考文献就太谢谢了。 |
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3楼2013-03-08 15:33:09
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2013-03-07 19:06:56
4楼2013-03-08 16:11:08
