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有了解SU-8光刻胶发展史的吗？帮忙！
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| 哪位朋友熟悉SU-8光刻胶的发展史，想了解下SU-8最早用于什么方向，最早用于MEMS领域是怎么做的，最早用来做多层结构的文献，不胜感激。能提供相应的参考文献就太谢谢了。 |
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yswyx 
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