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zdtshgc

新虫 (初入文坛)

[求助] 有了解SU-8光刻胶发展史的吗？帮忙！

哪位朋友熟悉SU-8光刻胶的发展史，想了解下SU-8最早用于什么方向，最早用于MEMS领域是怎么做的，最早用来做多层结构的文献，不胜感激。能提供相应的参考文献就太谢谢了。
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努力去做！
1楼 2013-03-07 18:31:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU8最早是用来做LIGA工艺的
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2楼2013-03-07 19:06:56
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xinqixiang

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU-8 非常常见啊。 具体的发展史你可以参考MEMS的相关文献关于 Lithography的部分。希望对你有用！
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3楼2013-03-08 15:33:09
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zdtshgc

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-07 19:06:56
SU8最早是用来做LIGA工艺的

恩，有什么依据吗？比如是什么文献中提到的？
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努力去做！
4楼2013-03-08 16:11:08
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