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dongxinyi

木虫 (小有名气)

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[交流] 外延生长遇到磊凸问题，求助原因

我们在做蓝宝石基板外延生长GaN的时候，产品出现磊凸问题，排除表面污染的情况下，据说有温度或磊晶工艺的影响，由于初次接触这个领域，希望了解MOCVD的虫友不吝赐教，最好能详细介绍一下这些影响因素是如何影响到磊凸缺陷的。提前感谢！！（附图）

磊凸.jpg

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1楼 2013-03-07 07:19:36

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