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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » CVD的基底可以是高聚物吗？
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)

[求助] CVD的基底可以是高聚物吗？

请问一下CVD沉降到的基底可以使高聚物吗？一般是哪些材料作基底？
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1楼 2013-03-06 21:47:00
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
dwaynecheung: 金币+2, ★有帮助, 呵呵！ 2013-03-07 22:28:17
除非是低温的PECVD。
硅片是最常见的衬底材料
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2楼2013-03-06 23:22:23
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-06 23:22:23
除非是低温的PECVD。
硅片是最常见的衬底材料

非常感谢哈！
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3楼2013-03-07 22:27:47
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