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dwaynecheung

新虫 (小有名气)

[求助] CVD的基底可以是高聚物吗?

请问一下CVD沉降到的基底可以使高聚物吗?一般是哪些材料作基底?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
dwaynecheung: 金币+2, 有帮助, 呵呵! 2013-03-07 22:28:17
除非是低温的PECVD。
硅片是最常见的衬底材料
2楼2013-03-06 23:22:23
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-06 23:22:23
除非是低温的PECVD。
硅片是最常见的衬底材料

非常感谢哈!
3楼2013-03-07 22:27:47
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