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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 交流互助 » CVD（化学气相沉积）方法 为什么不能制备很厚的薄膜
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zihudie

铁杆木虫 (正式写手)
学习了！
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daydaystudy,goodgoodup.
11楼2013-02-19 10:25:48
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pancy1985

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xjxj1xjxj: 金币+1, ★有帮助 2013-02-20 10:29:15
ant_512: 金币+1, 应助奖励！ 2013-03-07 09:14:09
严重同意10楼的说法，理论上的气相沉积可以厚度无限高，像灰尘堆积一样，但是堆积后的材料的内应力和堆积过程中缺陷的累积会导致无法做厚。
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达则奸计天下，穷则毒散其身
12楼2013-02-19 13:03:34
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dinago

金虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by xbgdj1 at 2013-02-19 10:05:17
个人认为：
1.CVD工艺存在shadow等影响，纳米或微米级薄膜影响较小一下，如果厚度增加，可能出现薄膜空洞等现象;
2.材料在衬底上沉积时时会产生应力，随着厚度增加，应力不断增加，可能出现沉积薄层崩裂现象（特别 ...

您好，请问为什么材料在衬底上沉积时会产生应力啊？
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13楼2013-03-06 20:13:21
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xbgdj1

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
ant_512: 金币+1, 奖励！ 2013-03-17 10:28:59
建议你可以看看关于CVD模拟计算的论文，其主要观点为：
1.处于一定高度的气体分子，其扩散长度是不一致的，在中间区域可以理解为高斯分布，但达到衬底边缘时，其扩算长度会受到分子反弹的影响；先在衬底完成吸附-扩算—碰撞反应——解吸附的分子会先形成大分子，其大分子边界会排斥后反应的大分子
2.随着膜层厚度增加，扩散长度短的分子生长快，会阻挡其他分子在其“阴影”区域反应，对于结晶性物质可导致其晶体趋向发生变化，不同形态大分子边界也存在分子应力‘
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14楼2013-03-07 12:59:09
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virgilyyc

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by xbgdj1 at 2013-03-07 12:59:09
建议你可以看看关于CVD模拟计算的论文，其主要观点为：
1.处于一定高度的气体分子，其扩散长度是不一致的，在中间区域可以理解为高斯分布，但达到衬底边缘时，其扩算长度会受到分子反弹的影响；先在衬底完成吸附-扩 ...

受教！能不能推荐一些比较好的CVD模拟计算论文？
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15楼2013-03-17 09:58:53
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windyswust

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by zihudie at 2013-02-19 09:04:26
请教一下为什么基底不平，坑里的沉不进去呢？不应该也是一点一点堆进去的吗？...

不平是相对的，有时间还需要稍微不平点（比如对基片预处理），便于形核
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一步一个脚印
16楼2013-03-20 16:22:48
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zihudie

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
16楼: Originally posted by windyswust at 2013-03-20 16:22:48
不平是相对的，有时间还需要稍微不平点（比如对基片预处理），便于形核...

大侠能不能具体点啊？为什么不平就便于形核呢？
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daydaystudy,goodgoodup.
17楼2013-03-21 21:34:47
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windyswust

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
17楼: Originally posted by zihudie at 2013-03-21 21:34:47
大侠能不能具体点啊？为什么不平就便于形核呢？...

固体物理，外延生长部分。
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一步一个脚印
18楼2013-03-23 12:30:28
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5gaohua

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以的，现在的技术已经可以制备很厚的CVD钻石了（同质外延生长单晶金刚石），国外很多机构：华盛顿卡内基研究院地球物理实验室、美国海军研究实验室、日本国立高级工业科学技术研究所金刚石研究中心、日本大阪大学、俄罗斯科学院应用物理研究所、密西根州立大学、巴黎大学、巴黎第八大学、德国夫琅禾费、阿波罗金刚石公司、元素六公司……在这块做的不错
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CVD,Diamond,Homoepitaxy,B-&N-Diamond,DiamondTool
19楼2013-05-14 00:26:06
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5gaohua

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
19楼: Originally posted by 5gaohua at 2013-05-14 00:26:06
可以的，现在的技术已经可以制备很厚的CVD钻石了（同质外延生长单晶金刚石），国外很多机构：华盛顿卡内基研究院地球物理实验室、美国海军研究实验室、日本国立高级工业科学技术研究所金刚石研究中心、日本大阪大学 ...

参看这个链接
http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=3586456
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CVD,Diamond,Homoepitaxy,B-&N-Diamond,DiamondTool
20楼2013-05-14 00:32:09
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