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磁控溅射制备ZnO/Fe薄膜,ZnO、Fe的沉积速率比,或膜厚比
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| 磁控溅射制备ZnO/Fe薄膜,如何求ZnO、Fe的沉积速率比,或膜厚比?用功率可以求吗?目前只有XRD(非小角)、透射光谱检测 |
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木虫 (职业作家)
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2楼2013-02-03 21:34:06













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