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木虫 (职业作家)

[求助] 磁控溅射制备ZnO/Fe薄膜,ZnO、Fe的沉积速率比,或膜厚比

磁控溅射制备ZnO/Fe薄膜,如何求ZnO、Fe的沉积速率比,或膜厚比?用功率可以求吗?目前只有XRD(非小角)、透射光谱检测
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木虫 (职业作家)

ZnO的功率100W,Fe的是5W
2楼2013-02-03 21:34:06
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