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椭偏仪附带的单晶硅的折射率曲线
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椭偏测量 |
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mengyonghong
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【答案】应助回帖
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单晶硅: 来源:Aspnes and Studna 1983 (n,k: 0.21-0.83um) lambda n k 0.8266 3.673 0.005 0.7749 3.714 0.008 0.7293 3.752 0.010 0.6888 3.796 0.013 0.6525 3.847 0.016 0.6199 3.906 0.022 0.5904 3.969 0.030 0.5636 4.042 0.032 0.5391 4.123 0.048 0.5166 4.215 0.060 0.4959 4.320 0.073 0.4769 4.442 0.090 0.4592 4.583 0.130 0.4428 4.753 0.163 0.4275 4.961 0.203 0.4133 5.222 0.269 0.3999 5.570 0.387 0.3875 6.062 0.630 0.3757 6.709 1.320 0.3647 6.522 2.705 0.3542 5.610 3.014 0.3444 5.296 2.987 0.3351 5.156 3.058 0.3263 5.065 3.182 0.3179 5.016 3.346 0.3100 5.010 3.586 0.3024 5.020 3.979 0.2952 4.888 4.639 0.2883 4.087 5.395 0.2818 3.120 5.344 0.2755 2.452 5.082 0.2695 1.988 4.678 0.2638 1.764 4.278 0.2583 1.658 3.979 0.2530 1.597 3.749 0.2480 1.570 3.565 0.2431 1.571 3.429 0.2384 1.589 3.354 0.2339 1.579 3.353 0.2296 1.471 3.366 0.2254 1.340 3.302 0.2214 1.247 3.206 0.2175 1.186 3.120 0.2138 1.133 3.045 0.2101 1.083 2.982 0.2066 1.010 2.909 以上数据为非连续,中间可采取线性或非线性插值方式得到。 |
2楼2013-02-07 03:29:07












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