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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 其它 » 硅表面镀铜
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郑菲

金虫 (正式写手)

[求助] 硅表面镀铜

想在硅表面镀铜，本人这方面不懂，请虫友们不吝赐教呀
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1楼 2013-01-27 20:13:16
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郑菲

金虫 (正式写手)
???????:
10?: Originally posted by yj656 at 2013-01-27 22:24:48
???????????????????????????????????????????????????д??????????????????????????????????????
????????????????????????????????????????????????????????????? ...

粗糙度几???个纳米太大了呢，溅射的??粗糙度是??是??点？我想尽???能??，零点几个纳米或几个纳米
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12楼2013-01-28 09:45:48
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digghost

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
郑菲: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-27 21:10:32
yanbo1986: 金币+1, 感谢应助。 2013-01-27 22:39:23
使用化学镀得方法,因为硅de导电性不好,或者用沉积的方法.
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呵呵了
2楼2013-01-27 20:24:59
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yj656

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
郑菲: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-27 21:07:04
这个要看楼主要镀多厚了，一般用蒸发或者溅射的方法在硅上沉积一层Ti当打底层，然后用同样的方法可以制备2微米以内的铜膜。如果您需要更厚的铜膜，比如在MEMS工艺中的电铸，就需要在上述步骤之后通过电镀进行加厚。如果感兴趣的话，可以提出具体的工艺要求，我帮你设计方案。
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3楼2013-01-27 20:43:52
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yj656

木虫 (著名写手)
天哪，楼主都900多金币了还是新虫啊，斑竹什么时候给我也发点金币当福利啊！！！
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4楼2013-01-27 20:45:27
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