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郑菲

金虫 (正式写手)

[求助] 硅表面镀铜

想在硅表面镀铜,本人这方面不懂,请虫友们不吝赐教呀
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yj656

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
郑菲: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-27 21:07:04
这个要看楼主要镀多厚了,一般用蒸发或者溅射的方法在硅上沉积一层Ti当打底层,然后用同样的方法可以制备2微米以内的铜膜。如果您需要更厚的铜膜,比如在MEMS工艺中的电铸,就需要在上述步骤之后通过电镀进行加厚。如果感兴趣的话,可以提出具体的工艺要求,我帮你设计方案。
3楼2013-01-27 20:43:52
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yj656

木虫 (著名写手)

天哪,楼主都900多金币了还是新虫啊,斑竹什么时候给我也发点金币当福利啊!!!
4楼2013-01-27 20:45:27
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普通回帖

digghost

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
郑菲: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-01-27 21:10:32
yanbo1986: 金币+1, 感谢应助。 2013-01-27 22:39:23
使用化学镀得方法,因为硅de导电性不好,或者用沉积的方法.
呵呵了
2楼2013-01-27 20:24:59
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郑菲

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yj656 at 2013-01-27 20:45:27
天哪,楼主都900多金币了还是新虫啊,斑竹什么时候给我也发点金币当福利啊!!!

这方面不懂嘛,没做过
5楼2013-01-27 21:06:21
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郑菲

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yj656 at 2013-01-27 20:43:52
这个要看楼主要镀多厚了,一般用蒸发或者溅射的方法在硅上沉积一层Ti当打底层,然后用同样的方法可以制备2微米以内的铜膜。如果您需要更厚的铜膜,比如在MEMS工艺中的电铸,就需要在上述步骤之后通过电镀进行加厚。 ...

非常感谢,我就想在硅片上镀一层薄一点并且很光滑的铜,2微米以内的就足够了,溅射没有设备呢,有没有一般实验室就能做到的方法,
6楼2013-01-27 21:09:38
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郑菲

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by digghost at 2013-01-27 20:24:59
使用化学镀得方法,因为硅de导电性不好,或者用沉积的方法.

能具体说一下吗?之前没有接触过,谢谢
7楼2013-01-27 21:10:56
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郑菲

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by digghost at 2013-01-27 20:24:59
使用化学镀得方法,因为硅de导电性不好,或者用沉积的方法.

求支招
8楼2013-01-27 21:56:43
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郑菲

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yj656 at 2013-01-27 20:43:52
这个要看楼主要镀多厚了,一般用蒸发或者溅射的方法在硅上沉积一层Ti当打底层,然后用同样的方法可以制备2微米以内的铜膜。如果您需要更厚的铜膜,比如在MEMS工艺中的电铸,就需要在上述步骤之后通过电镀进行加厚。 ...

为什么要沉积一层Ti当打底层?
9楼2013-01-27 21:57:24
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yj656

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
郑菲: 金币+2 2013-03-07 21:36:13
因为在硅上直接镀铜结合力很差的,所以需要一层和硅亲和力好的金属来进行打底,就像家具上漆之前需要打一层腻子是一个道理。
如果楼主想通过化学镀的方法镀铜的话,一般情况结合力是很差的,需要对硅片通过氨水等碱性溶液进行粗化处理。硅片粗化后粗糙度估计会有0.3nm~0.5nm左右,化学镀铜后粗糙度可能达到几十个纳米,不知能否满足你所说的光滑。你上万能的淘宝买点镀铜溶液回来自己试试哈!
10楼2013-01-27 22:24:48
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