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xxxttt7788

铁虫 (初入文坛)

[求助] 硅片在DRIE工艺后，怎么观察图案的截面

如图所示，用DRIE工艺在硅片上加工好了一个图形结构，现在要观察图中截面位置的深度和侧壁形状，需要从中间截开。划片机硅刀太粗，没办法划到。有人说是掰开，不知道具体怎么弄，掰开的话怎么确定掰开的位置？

QQ截图.jpg
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yswyx关于腐蚀/刻蚀的回复

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1楼 2013-01-13 16:17:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
基本没希望用划片机。掰开纯粹是碰运气。
目前想到的唯一靠谱的办法，就是把片子先切成小片，然后夹在夹具上，上磨片机磨端面，磨到你要的那个位置为止。
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2楼2013-01-14 14:38:47
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luufei

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以试一下，解离面法，其实和掰开差不多。关键看你选的了
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wanting
3楼2013-01-14 19:16:03
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