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SleepTooLong

银虫 (小有名气)

[交流] 硅片减薄后的翘曲问题 已有1人参与

已经制造集成电路的硅片背面减薄后(100-75um)会有一定的翘曲,如何处理?一般情况下怎样减少翘曲的产生?可以做退火处理吗?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
yanhualover: 回帖置顶 2013-02-22 05:26:28
yanhualover: 金币+1, 精彩回帖,值得鼓励。 2013-02-22 05:26:36
找thin wafer handling的资料看看。
减少翘曲一方面是减薄工艺的调整,另外还可以通过镀膜应力补偿。
退火很难减少翘曲了,因为有器件的片子是不能过高温的。
2楼2013-01-12 21:45:58
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SleepTooLong

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-12 21:45:58
找thin wafer handling的资料看看。
减少翘曲一方面是减薄工艺的调整,另外还可以通过镀膜应力补偿。
退火很难减少翘曲了,因为有器件的片子是不能过高温的。

谢谢前辈对这个问题还有其他问题的解答,我去找相关资料看看。
3楼2013-01-14 12:51:27
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