| 查看: 828 | 回复: 4 | ||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
wuli05_li木虫 (小有名气)
|
[求助]
钛膜表面略微粗糙化
|
|
|
求助一下小木虫上的朋友： 我的实验目的是这样的，将溅射在硅基底表面的一层钛膜（钛膜厚度为500nm）放在80°C的H2O2溶液（H2O2溶液的质量分数为15%）中反应，使钛膜氧化成TiO2的膜。 我的实验遇到的问题是这样的，如果直接将溅射完的钛膜和80°C的H2O2反应，实验很难进行。只有使钛膜的表面有略微的粗糙化才能和H2O2发生氧化反应。 我之前对钛膜进行过酸化处理来使其表面粗糙化。用稀释50倍和100倍的HF（HF的质量分数为49%），腐蚀的时间是1秒。但是稀释后的HF腐蚀速度非常快，腐蚀的速率也不容易控制。而且溅射上的钛膜很薄（钛膜厚度为500nm），这样就更增加了腐蚀的困难。 文献上有用HF和硝酸的混酸来使钛片的表面粗糙化的，但是硝酸对硅片是有腐蚀的，所以这个方法也不适用我这个实验。 请有这方面经验的老师和同学赐教。谢谢。 |
回复此楼» 猜你喜欢
上海工程技术大学 激光智能制造课题组 2027级博士研究生招生
已经有7人回复
-
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有4人回复
wolfghost
版主 (知名作家)
- 博学EPI: 432
- 应助: 101 (高中生)
- 贵宾: 7.987
- 金币: 36642.2
- 散金: 11283
- 红花: 198
- 沙发: 8
- 帖子: 7796
- 在线: 1298.1小时
- 虫号: 573180
- 注册: 2008-06-13
- 性别: GG
- 专业: 电化学
- 管辖: 有奖问答
wuli05_li4楼2013-01-07 11:49:42
wuli05_li
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3418.8
- 散金: 1166
- 红花: 13
- 帖子: 292
- 在线: 533.5小时
- 虫号: 865535
- 注册: 2009-10-08
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2013-01-07 10:54:16
wuli05_li
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3418.8
- 散金: 1166
- 红花: 13
- 帖子: 292
- 在线: 533.5小时
- 虫号: 865535
- 注册: 2009-10-08
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2013-01-07 12:43:23
