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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] PMMA配制

求助:我从2011年9月一直用邻二甲苯做溶剂,PMMA粉末(分子量350K)做溶质,配制PMMA用作电子束曝光的抗蚀剂,效果都很好,但是最近我用同样的方法配,却一直不成功,PMMA粉末无法溶于邻二甲苯,不管是延长搅拌时间还是加热都不管用,考虑到可能原料变质,因此又重新买了邻二甲苯和PMMA粉末,但仍然不成功。现在也不知道问题出在哪里,各位有没有碰到这种情况呢?麻烦给点建议呀,谢谢了
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xunmeng0011

铁杆木虫 (正式写手)


yanhualover: 金币+1, 精彩回复,值得鼓励。 2013-02-23 00:07:46
PMMA用作电子束曝光的光刻胶通常选用氯苯和乳酸乙酯会比较好,市面上比较好的光刻胶 例如micro chem公司的,基本都用这两种溶剂,所以可以考虑一下这两种溶剂来溶解PMMA。
13楼2013-01-10 17:22:59
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apple_fall

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
佳好_悦缘: 金币+2, 有帮助 2013-01-07 18:51:25
用 乙酸丁酯 试一下。
2楼2013-01-06 22:47:16
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匿名

用户注销 (职业作家)


★ ★
感谢参与,应助指数 +1
佳好_悦缘: 金币+2, 有帮助 2013-01-07 18:52:24
本帖仅楼主可见
3楼2013-01-07 13:20:41
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by apple_fall at 2013-01-06 22:47:16
用 乙酸丁酯 试一下。

好的,谢谢你的建议,不过我之前用邻二甲苯都没问题哦
4楼2013-01-07 18:52:03
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