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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PMMA配制
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] PMMA配制

求助：我从2011年9月一直用邻二甲苯做溶剂，PMMA粉末（分子量350K）做溶质，配制PMMA用作电子束曝光的抗蚀剂，效果都很好，但是最近我用同样的方法配，却一直不成功，PMMA粉末无法溶于邻二甲苯，不管是延长搅拌时间还是加热都不管用，考虑到可能原料变质，因此又重新买了邻二甲苯和PMMA粉末，但仍然不成功。现在也不知道问题出在哪里，各位有没有碰到这种情况呢？麻烦给点建议呀，谢谢了
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1楼 2013-01-06 15:22:51
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

xunmeng0011

铁杆木虫 (正式写手)
★
yanhualover: 金币+1, 精彩回复，值得鼓励。 2013-02-23 00:07:46
PMMA用作电子束曝光的光刻胶通常选用氯苯和乳酸乙酯会比较好，市面上比较好的光刻胶 例如micro chem公司的，基本都用这两种溶剂，所以可以考虑一下这两种溶剂来溶解PMMA。
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13楼2013-01-10 17:22:59
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普通回帖

apple_fall

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
佳好_悦缘: 金币+2, ★有帮助 2013-01-07 18:51:25
用 乙酸丁酯 试一下。
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2楼2013-01-06 22:47:16
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匿名

用户注销 (职业作家)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
佳好_悦缘: 金币+2, ★有帮助 2013-01-07 18:52:24
本帖仅楼主可见
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3楼2013-01-07 13:20:41
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by apple_fall at 2013-01-06 22:47:16
用 乙酸丁酯 试一下。

好的，谢谢你的建议，不过我之前用邻二甲苯都没问题哦
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4楼2013-01-07 18:52:03
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by fbqrdzs at 2013-01-07 13:20:41
用DMF和丙酮，按照3:2的比例配比试试。

谢谢您的建议，但是我之前用邻二甲苯也能成功哦，不知道现在为什么不行了
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5楼2013-01-07 18:53:49
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xunmeng0011

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
佳好_悦缘: 金币+2 2013-01-10 11:08:31
邻二甲苯没用过，我一直用的是氯苯和乳酸乙酯。
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6楼2013-01-10 05:48:02
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ningmenguge

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
佳好_悦缘: 金币+2 2013-01-10 11:09:51
用丙酮试试看呢。？？
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7楼2013-01-10 09:18:21
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walkerby

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
佳好_悦缘: 金币+3 2013-01-10 11:12:46
温度有没有保持恒定？？这个很重要。
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8楼2013-01-10 11:05:42
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by xunmeng0011 at 2013-01-10 05:48:02
邻二甲苯没用过，我一直用的是氯苯和乳酸乙酯。

谢谢
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9楼2013-01-10 11:08:48
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ningmenguge at 2013-01-10 09:18:21
用丙酮试试看呢。？？

你试过用丙酮吗？我除胶用的是丙酮，如果用丙酮配胶是不是不太合理呀
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10楼2013-01-10 11:12:20
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