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spinwave木虫 (正式写手)
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直径200nm的纳米线做电极应镀多厚的金啊？
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| 200nm粗的纳米线做上电极后总会在lift-off时一块剥掉。 |
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至尊木虫 (职业作家)
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2楼2013-01-05 21:19:19
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这个根本不是镀多厚的问题。而是你没有让光刻胶的开口形成上小下大的结构。你镀的金属沿着光刻胶侧壁爬到了光刻胶顶部，镀层越厚，爬坡的现象就越严重。 lift off是有专门的光刻胶的。建议你采用专门的剥离用的光刻胶。可以联系这个人，yangjing@resemi.com |
4楼2013-01-07 16:40:35