| 查看: 864 | 回复: 3 | ||||
spinwave木虫 (正式写手)
|
[求助]
直径200nm的纳米线做电极应镀多厚的金啊？
|
| 200nm粗的纳米线做上电极后总会在lift-off时一块剥掉。 |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有77人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 单根硅纳米线欧姆接触电极的制备方法。北京哪里可以做？多少钱？
已经有5人回复
124685887
至尊木虫 (职业作家)
黄河水利委员会会长
- MN-EPI: 1
- 应助: 536 (博士)
- 贵宾: 0.997
- 金币: 16084.8
- 散金: 947
- 红花: 52
- 沙发: 10
- 帖子: 4967
- 在线: 537.6小时
- 虫号: 1130044
- 注册: 2010-10-23
- 专业: 环境化学
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
spinwave: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-01-06 12:25:44
感谢参与，应助指数 +1
spinwave: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-01-06 12:25:44
2楼2013-01-05 21:19:19
匿名
用户注销 (职业作家)
- MN-EPI: 3
- 应助: 549 (博士)
- 贵宾: 0.23
- 金币: 2859.9
- 散金: 2337
- 红花: 97
- 沙发: 1
- 帖子: 3355
- 在线: 1328.3小时
- 虫号: 0
- 注册: 2011-07-08
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
- 管辖: 材料区
3楼2013-01-05 21:57:20
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
|
这个根本不是镀多厚的问题。而是你没有让光刻胶的开口形成上小下大的结构。你镀的金属沿着光刻胶侧壁爬到了光刻胶顶部，镀层越厚，爬坡的现象就越严重。 lift off是有专门的光刻胶的。建议你采用专门的剥离用的光刻胶。可以联系这个人，yangjing@resemi.com |
4楼2013-01-07 16:40:35
20