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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 综合资源 » EDX能分析元素含量随深度的变化吗
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骑蝙蝠嗷嗷飞

无虫 (初入文坛)

[求助] EDX能分析元素含量随深度的变化吗

EDX能分析元素含量随深度的变化吗（想测一个半导体激光器外延片元素含量随深度变化）
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1楼 2013-01-03 09:25:24
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sunxiaguang

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
骑蝙蝠嗷嗷飞(nihao000代发): 金币+5 2013-05-25 16:55:18
取样做纵截面的线扫描就能得到成份随深度的变化！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2013-01-03 10:59:44
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wlq53

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
骑蝙蝠嗷嗷飞(nihao000代发): 金币+5 2013-05-25 16:55:31
可以试一试，但是用EDX做的话，断面很难做，除非是Si基底。建议你做AES或直接XPS 溅射。
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3楼2013-01-03 11:53:28
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