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磁控溅射的问题
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磁控溅射使用绝缘材料靶会使基片温度上升，请问是为什么呢？ 谢谢！ |
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shiningx
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4楼2007-07-28 20:24:15
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2楼2007-07-28 18:27:06
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3楼2007-07-28 19:10:51
