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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 钛酸铋钠--BNT外延问题

我在钛酸锶(001)单晶衬底上沉积BNT的温度是700左右,如果我想外延的话,温度大概要多少度呢,请问有人做过吗?不一定要这种材料,谁做过外延的可以告诉我一下,一般外延的温度比多晶的温度高多少?谢谢了
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luobingche

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-01-02 21:44:19
Bi是挥发的,如果用pld,温度和氧压都的考虑,还得考虑靶材里面加了多余的Bi。所以其他人的参数不是很靠谱的
4楼2013-01-02 18:49:39
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-01-02 21:44:01
通常沉积温度与所制备的薄膜以及制备方法及工艺参数有关,500-800度都有报道。你的意思是700度你能在单晶衬底上得到BNT薄膜,但不是外延的,建议你调整下沉积速率也许能获得外延膜。
2楼2013-01-01 21:16:03
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
qqxiwuzhiren: 金币+1, 有帮助, 谢谢 2013-01-02 10:36:01
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-01-02 21:44:10
700度应该能外延
如果你长出来是多晶
可能是沉积速率太快了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2013-01-01 21:48:11
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