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铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 钛酸铋钠--BNT外延问题

我在钛酸锶（001）单晶衬底上沉积BNT的温度是700左右，如果我想外延的话，温度大概要多少度呢，请问有人做过吗？不一定要这种材料，谁做过外延的可以告诉我一下，一般外延的温度比多晶的温度高多少？谢谢了

1楼 2013-01-01 19:15:19

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木虫 (正式写手)

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-01-02 21:44:01

通常沉积温度与所制备的薄膜以及制备方法及工艺参数有关，500-800度都有报道。你的意思是700度你能在单晶衬底上得到BNT薄膜，但不是外延的，建议你调整下沉积速率也许能获得外延膜。

2楼2013-01-01 21:16:03

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金虫 (著名写手)

★ ★
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qqxiwuzhiren: 金币+1, ★有帮助, 谢谢 2013-01-02 10:36:01
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-01-02 21:44:10

700度应该能外延
如果你长出来是多晶
可能是沉积速率太快了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

3楼2013-01-01 21:48:11

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铁杆木虫 (小有名气)

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-01-02 21:44:19

Bi是挥发的，如果用pld，温度和氧压都的考虑，还得考虑靶材里面加了多余的Bi。所以其他人的参数不是很靠谱的

4楼2013-01-02 18:49:39

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