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dlutwhx

金虫 (小有名气)

[求助] 溅射镍的导电性

我做电镀镍,请问溅射20nm的镍作为导电层,会导电吗?至少需要溅射多厚的镍才可以导电呢?
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liaofang20

银虫 (小有名气)

楼主,请问你的镍怎么溅射。我使用直流电源,管状靶材,起辉不稳定,会时不时灭。而且我的电流加到1A就加不上去了。1A镀了半个小时,膜还很薄。
6楼2014-04-17 16:21:16
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
857688363: 金币+2, 感谢应助 2012-12-29 20:04:18
20nm够了,如果担心的话,50左右也行。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2012-12-29 18:04:13
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dlutwhx

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-12-29 18:04:13
20nm够了,如果担心的话,50左右也行。

你好,请问你做过类似的实验吗?我就怕20nm太薄,不导电,可是又觉得50nm有点厚,这个导电性有没有什么依据呢?
3楼2012-12-30 09:17:50
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

只做过溅射10-20nm厚的Ti作为溅射Au膜的粘附层。从原理上讲,20nm后的金属是足够导电的了。你先试一试看效果如何嘛。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
4楼2012-12-30 16:48:45
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