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图形转移技术能否用于非平面上?
目前的大规模集成电路中的微图形转移技术(光刻技术)主要是用在平面上,如半导体的板材表面,能否用在非平面上,如圆柱体,甚至是一些较复杂的3D曲面上?
能否提供一些参考文献或链接?
谢谢!
[ Last edited by jackiemwd on 2007-7-27 at 09:04 ] |
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