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[交流]
图形转移技术能否用于非平面上?
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目前的大规模集成电路中的微图形转移技术(光刻技术)主要是用在平面上,如半导体的板材表面,能否用在非平面上,如圆柱体,甚至是一些较复杂的3D曲面上? 能否提供一些参考文献或链接? 谢谢! [ Last edited by jackiemwd on 2007-7-27 at 09:04 ] |
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fpheonixes
金虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体材料
2楼2007-07-27 09:35:32













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