24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 81  |  回复: 1
当前主题已经存档。

jackiemwd

荣誉版主 (知名作家)

小木虫论坛副秘书长

[交流] 图形转移技术能否用于非平面上?

目前的大规模集成电路中的微图形转移技术(光刻技术)主要是用在平面上,如半导体的板材表面,能否用在非平面上,如圆柱体,甚至是一些较复杂的3D曲面上?
能否提供一些参考文献或链接?
谢谢!

[ Last edited by jackiemwd on 2007-7-27 at 09:04 ]
回复此楼

» 猜你喜欢

我来到小木虫论坛,就像饥饿的人扑到面包上一样。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fpheonixes

金虫 (小有名气)


jackiemwd(金币+1):谢谢!
这个很难,这主要是聚焦的问题。
在半导体制造中,CMP的作用就是把patterned silicon wafer弄平整,这样UV的曝光效果才好,如果不平整,曝光的uniformity就很差。
2楼2007-07-27 09:35:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 jackiemwd 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 297工科,求调剂? +10 河南农业大学-能 2026-04-12 10/500 2026-04-12 22:44 by lbsjt
[考研] 一志愿085502,267分求调剂 +14 再忙也要吃饭啊 2026-04-08 15/750 2026-04-12 22:33 by fqwang
[考研] 0854调剂 +9 长弓傲 2026-04-12 11/550 2026-04-12 22:13 by paopaotu326
[考研] 286求调剂 +26 Faune 2026-04-06 26/1300 2026-04-12 10:24 by lhj2009
[考研] 求助调剂,跨调 +12 X十甫寸Y 2026-04-11 12/600 2026-04-12 10:20 by zhouyuwinner
[考研] 一志愿西北工业大学289 085602 +33 yang婷 2026-04-10 34/1700 2026-04-12 08:11 by Art1977
[考研] 290求调剂 +13 luoziheng 2026-04-10 13/650 2026-04-11 23:15 by labixiaoqiao
[考研] 一志愿211,化学学硕,310分,本科重点双非,求调剂 +17 努力奋斗112 2026-04-06 20/1000 2026-04-11 00:31 by wangjihu
[考研] 考研调剂 +26 硕星赴 2026-04-09 27/1350 2026-04-10 22:24 by 猪会飞
[基金申请] 有爆料,一个青年教师卖房得400万,然后换了一个四青帽子 +9 babu2015 2026-04-08 9/450 2026-04-10 11:43 by 苏东坡二世
[考研] 生物学求调剂 一志愿沪9,326分 +7 刘墨墨 2026-04-06 7/350 2026-04-10 08:11 by kangsm
[考研] 本科211 工科085400 280分求调剂 可跨专业 +3 LZH(等待调剂中 2026-04-09 3/150 2026-04-09 21:29 by wutongshun
[考研] 286求调剂 +19 Faune 2026-04-08 20/1000 2026-04-09 08:36 by 哦哦123
[考研] 328求调剂 +17 lftmya 2026-04-07 18/900 2026-04-09 08:05 by 5268321
[考研] 机械工程313分找工科调剂 +3 双一流本科机械 2026-04-08 3/150 2026-04-08 20:41 by 土木硕士招生
[考研] 一志愿南京航空航天大学 材料与化工329分求调剂 +11 Mr. Z 2026-04-05 12/600 2026-04-08 16:15 by luoyongfeng
[考研] 计算机11408 287 求调剂 +3 LiLe5 2026-04-07 3/150 2026-04-07 23:15 by shanqishi
[考研] 331求调剂 +5 张元一 2026-04-07 6/300 2026-04-07 22:13 by hemengdong
[考研] 0854求调剂 +9 亨氏番茄沙司 2026-04-06 10/500 2026-04-07 14:37 by shdgaomin
[考研] 333求调剂 +6 合乘杨习夕 2026-04-06 6/300 2026-04-07 09:44 by 猪会飞
信息提示
请填处理意见