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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 拉曼光谱仪测试磁控溅射薄膜求教
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wtwang0817

新虫 (小有名气)

[求助] 拉曼光谱仪测试磁控溅射薄膜求教

我在石英玻璃上直流磁控溅射制备了氧化锌薄膜，其后在上面溅射金属铬膜，我想利用拉曼光谱仪观察在氧化锌与金属的界面生成的氧化铬，请问如何查询金属氧化物的拉曼峰的强弱呢，由于生成的氧化物很薄，不知道这种方法是否可以检测到？如果不可以，不知道还有什么检测比较好呢？求教~~
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1楼 2012-12-24 13:36:24
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wtwang0817

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by piqihenhaode at 2012-12-24 22:12:56
各位亲，你们说的选区电子衍射真容易啊，你就那么一个小小的界面层，都不知道能有几个纳米就要搞选区，国内有几台电镜能做出这么小的选区，简直就是开玩笑。做界面看高分辨呗，或者做个沿深度方向刻蚀的XPS有没有Cr ...

你说的很有道理啊，界面太薄选区是不太靠谱的，我正在尝试采用氩离子深度刻蚀，然后再做xps的方法，但是测试的老师说由于磁控溅射形成的膜不够均匀，很容易刻蚀过度，就检测不到Cr—O键了，不知道我接下去我怎么做比较一点，小妹真是苦恼啊，望给点指点。
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7楼2012-12-26 09:42:43
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-24 15:47:46
Raman 原则上是可以的，但两台小的话，也是比较困难的

另外，你可以做一个断面的选区电子衍射，和能谱，看一下再ZnO和Cr表面是不是有氧化铬

请问如何查询金属氧化物的拉曼峰的强弱呢
不知道你问什么
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2楼2012-12-24 15:12:29
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wtwang0817

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2012-12-24 15:12:29
Raman 原则上是可以的，但两台小的话，也是比较困难的

另外，你可以做一个断面的选区电子衍射，和能谱，看一下再ZnO和Cr表面是不是有氧化铬

请问如何查询金属氧化物的拉曼峰的强弱呢
不知道你问什么

1、你说断面做电子衍射和能谱，由于在表面的金属铬被氧化生成氧化铬，所以测试时可能检测到的氧化铬是在表面生成的，而不是在界面生成的，所以我首先想到用拉曼来做，这样表面的氧化层对界面不会有影响。
2、我是想问氧化铬的拉曼峰是多少？信号强不强，因为生成的氧化物本身就很薄，如果信号太弱，可能用拉曼就检测不到了。
谢谢，希望我们能继续探讨。
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3楼2012-12-24 17:14:41
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

chemlh: 欢迎积极交流 2012-12-27 08:35:24
引用回帖:
3楼: Originally posted by wtwang0817 at 2012-12-24 17:14:41
1、你说断面做电子衍射和能谱，由于在表面的金属铬被氧化生成氧化铬，所以测试时可能检测到的氧化铬是在表面生成的，而不是在界面生成的，所以我首先想到用拉曼来做，这样表面的氧化层对界面不会有影响。
2、我是 ...

1、你说断面做电子衍射和能谱，由于在表面的金属铬被氧化生成氧化铬，所以测试时可能检测到的氧化铬是在表面生成的，而不是在界面生成的，所以我首先想到用拉曼来做，这样表面的氧化层对界面不会有影响。

这个反而应该是Raman没法处理的问题。
如果你用选区电子衍射，你可以分清楚各个界面的情况。
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4楼2012-12-24 17:38:26
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