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lzg919530615金虫 (正式写手)
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[求助]
关于陶瓷靶材的几个工艺问题
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原料是氧化铝和氧化锌，加PVA球磨后拿到压片机处压制成型，然后在升温炉里面烧结。 我想问一下： 1.为什么在烧结后的靶材里面有白色的斑斑点点，很不均匀？ 2.我们在烧结前，在压制好的压坯底下垫了一层粉（与压坯的成分一样），发现烧结底面的白斑更加严重了，请问一下在烧结的时候需要在压坯底下垫些什么东西吗？ 3.烧结后的靶材有一点点弯曲变形，请问怎样才能避免这种情况呢？ 谢谢！  烧结底面  烧结正面  烧结底面  横截面  横截面 |
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 磁控溅射靶材资料大全 |
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