24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
查看: 1711  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

lzg919530615

金虫 (正式写手)

[求助] 关于陶瓷靶材的几个工艺问题

原料是氧化铝和氧化锌,加PVA球磨后拿到压片机处压制成型,然后在升温炉里面烧结。
我想问一下:
1.为什么在烧结后的靶材里面有白色的斑斑点点,很不均匀?
2.我们在烧结前,在压制好的压坯底下垫了一层粉(与压坯的成分一样),发现烧结底面的白斑更加严重了,请问一下在烧结的时候需要在压坯底下垫些什么东西吗?
3.烧结后的靶材有一点点弯曲变形,请问怎样才能避免这种情况呢?
谢谢!

烧结底面



烧结正面



烧结底面



横截面



横截面
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzg919530615

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2012-12-17 11:30:11
靶材里面的白点可能是你没有烧透的原因,靶材弯曲可能是你的升温速率过快还有可能是炉内温度场不均。关于底下垫粉,还是需要的,这样不会因为靶材底面和陈烧板之间的摩擦导致靶材的开裂。

一般的球磨时间是多久?我们只用了10个小时可以吗?白点会不会和材料的不均匀有关?
3楼2012-12-17 14:14:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lzg919530615: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢! 2012-12-17 14:12:21
靶材里面的白点可能是你没有烧透的原因,靶材弯曲可能是你的升温速率过快还有可能是炉内温度场不均。关于底下垫粉,还是需要的,这样不会因为靶材底面和陈烧板之间的摩擦导致靶材的开裂。
用绳命来搞科研
2楼2012-12-17 11:30:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by lzg919530615 at 2012-12-17 14:14:32
一般的球磨时间是多久?我们只用了10个小时可以吗?白点会不会和材料的不均匀有关?...

你多磨两个小时吧,至于白点的问题,我也不知道是不是相关,但是10个小时应该没问题。试下12小时的,还是这样的话可能真的就是烧结工艺的问题了
用绳命来搞科研
6楼2012-12-19 14:11:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

emilyloo

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
lzg919530615: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 谢谢! 2012-12-22 10:47:35
可能的原因哈,1、升温过快;2、排胶不合理;3、烧结时间不够;4、原料不均匀
7楼2012-12-19 14:39:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见