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wiley2012年刚出版的一本Atomic Layer Deposition的书籍。
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1 Theoretical Modeling of ALD Processes 2 Step Coverage in ALD 3 Precursors for ALD Processes 4 Sol–Gel Chemistry and Atomic Layer Deposition 5 Molecular Layer Deposition of Hybrid Organic–Inorganic Films 6 Low-Temperature Atomic Layer Deposition 7 Plasma Atomic Layer Deposition 8 Atomic Layer Deposition for Microelectronic Applications 9 Nanopatterning by Area-Selective Atomic Layer Deposition 10 Coatings on High Aspect Ratio Structures 11 Coatings of Nanoparticles and Nanowires 12 Atomic Layer Deposition on Soft Materials 13 Application of ALD to Biomaterials and Biocompatible Coatings 14 Coating of Carbon Nanotubes 15 Inverse Opal Photonics 16 Nanolaminates 17 Challenges in Atomic Layer Deposition 很全面的一本关于原子层沉积的书，几乎涵盖了ALD所有的应用。 |
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2012-12-14 21:53:51, 5.91 M
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