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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 能源 » 新能源 » 怎样判断硅片表面清洗干净？
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hjunkel

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

有一种叫“表面清洁度仪”的德国仪器，使用探头在硅片表面测试，几秒钟就可以测出硅片表面的污染程度。 也可以使用扫描模式，把整个硅片表面扫描就得出整个表面的清洁度，是用荧光性探测，得出量化数据，比水膜法观察精确得多。
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多动脑子，少动嘴！
11楼2016-03-29 16:02:36
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hjunkel

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

有一种叫“表面清洁度仪”的德国仪器，使用探头在硅片表面测试，几秒钟就可以测出硅片表面的污染程度。 也可以使用扫描模式，把整个硅片表面扫描就得出整个表面的清洁度，是用荧光性探测，得出量化数据，比水膜法观察精确得多。
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多动脑子，少动嘴！
12楼2016-03-29 16:04:03
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