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怎样判断硅片表面清洗干净？ 已有1人参与
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| 各位大侠：在单晶硅清洗过程中，如何判断硅片表面是否还残留有有机物和金属杂质污染，重点是有机物，除用肉眼观察外，还可以有什么具体的方法,求各位高人指教。谢谢 |
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w共xi
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qsh354
铁杆木虫 (著名写手)
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5楼2012-12-17 11:04:37