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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 怎么防止铝膜被氧化
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z416203567

铜虫 (初入文坛)

[求助] 怎么防止铝膜被氧化

我现在需要在硅镀层75nm的铝，请问成膜后会不会在空气中被氧化，有什么保护措施吗?
我后续还要在铝膜上做EBL和IBE
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1楼2012-12-11 10:54:58
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z416203567

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by semi-white at 2012-12-12 18:29:43
氧化层也就是纳米级厚度，表面氧化的铝自己就钝化了，不会继续氧化

还有什么保存方法没，我们这边没这种设备》。。
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7楼2012-12-12 21:56:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
铝膜见空气必氧化，形成原始的疏松氧化层。我不太明白你为什么想保护？做EBL和IBE，和原始氧化层也没什么关系啊。
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2楼2012-12-11 15:28:45
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z416203567

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-11 15:28:45
铝膜见空气必氧化，形成原始的疏松氧化层。我不太明白你为什么想保护？做EBL和IBE，和原始氧化层也没什么关系啊。

我是需要铝的微结构的光谱曲线，不知道75nm的铝会不会被全部氧化为氧化铝
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3楼2012-12-12 10:10:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by z416203567 at 2012-12-12 10:10:08
我是需要铝的微结构的光谱曲线，不知道75nm的铝会不会被全部氧化为氧化铝...

不会不会，没那么夸张。如果做好铝以后，有几天不用，可以先放氮气柜，或者真空、充氮包装包起来。
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4楼2012-12-12 15:34:04
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