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z416203567

铜虫 (初入文坛)

[求助] 怎么防止铝膜被氧化

我现在需要在硅镀层75nm的铝,请问成膜后会不会在空气中被氧化,有什么保护措施吗?
我后续还要在铝膜上做EBL和IBE
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z416203567

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-11 15:28:45
铝膜见空气必氧化,形成原始的疏松氧化层。我不太明白你为什么想保护?做EBL和IBE,和原始氧化层也没什么关系啊。

我是需要铝的微结构的光谱曲线,不知道75nm的铝会不会被全部氧化为氧化铝
3楼2012-12-12 10:10:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
铝膜见空气必氧化,形成原始的疏松氧化层。我不太明白你为什么想保护?做EBL和IBE,和原始氧化层也没什么关系啊。
2楼2012-12-11 15:28:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by z416203567 at 2012-12-12 10:10:08
我是需要铝的微结构的光谱曲线,不知道75nm的铝会不会被全部氧化为氧化铝...

不会不会,没那么夸张。如果做好铝以后,有几天不用,可以先放氮气柜,或者真空、充氮包装包起来。
4楼2012-12-12 15:34:04
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semi-white

铁杆木虫 (著名写手)

Pay first, then get.

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
z416203567: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-12-12 21:46:33
氧化层也就是纳米级厚度,表面氧化的铝自己就钝化了,不会继续氧化

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5楼2012-12-12 18:29:43
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