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怎么防止铝膜被氧化
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我现在需要在硅镀层75nm的铝，请问成膜后会不会在空气中被氧化，有什么保护措施吗? 我后续还要在铝膜上做EBL和IBE |
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3楼2012-12-12 10:10:08
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2楼2012-12-11 15:28:45
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【答案】应助回帖
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z416203567: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-12-12 21:46:33
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z416203567: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-12-12 21:46:33
| 氧化层也就是纳米级厚度，表面氧化的铝自己就钝化了，不会继续氧化 |
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z4162035675楼2012-12-12 18:29:43