24小时热门版块排行榜    

查看: 1169  |  回复: 1

wangjm06

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜在管式炉中退火时如需氮气保护,流量一般用多大合适???

如题,薄膜放在管式炉中退火时如需氮气保护,流量一般用多大合适???有没有有经验的虫子?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

avgon

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wangjm06: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢了!! 2012-12-11 11:27:26
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-11 21:55:35
80 - 120 sccm都可以了,管径大的就适当流量大些。因为只是退火,氮气不是反应源,只是保护气体,所以流量控制条件会相对宽松些。
仰望星空脚踏实地
2楼2012-12-11 09:20:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wangjm06 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-26 5/250 2026-03-26 13:33 by 邱gl
[考研] 289求调剂 +16 硕星赴 2026-03-23 16/800 2026-03-26 13:18 by 小小麦片
[考研] 284求调剂 +4 junqihahaha 2026-03-26 4/200 2026-03-26 12:36 by 张凯十八号
[考研] 求调剂 +3 芦lty 2026-03-25 4/200 2026-03-25 23:25 by 芦lty
[考研] 材料调剂 +3 iwinso 2026-03-23 3/150 2026-03-25 11:29 by greychen00
[考研] 求调剂 一志愿 本科 北科大 化学 343 +4 13831862839 2026-03-24 5/250 2026-03-25 09:47 by 无际的草原
[考研] 318求调剂 +3 plum李子 2026-03-23 3/150 2026-03-25 09:42 by 雾散后相遇lc
[考研] B区考研调剂 +4 yqdszhdap- 2026-03-22 5/250 2026-03-25 08:51 by baoball
[考研] 资源与环境 调剂申请(333分) +7 holy J 2026-03-21 7/350 2026-03-24 17:24 by xiaohai104
[考研] 求调剂一志愿武汉理工大学材料工程(085601) +5 WW.' 2026-03-23 7/350 2026-03-24 14:50 by sprinining
[考研] 085404电子信息284分求调剂 +4 13659058978 2026-03-24 4/200 2026-03-24 12:15 by syl20081243
[考研] 344求调剂 +3 desto 2026-03-24 3/150 2026-03-24 10:09 by 搏击518
[考研] 环境学硕288求调剂 +8 皮皮皮123456 2026-03-22 8/400 2026-03-23 23:47 by 热情沙漠
[论文投稿] 急发核心期刊论文 +3 贤达问津 2026-03-23 5/250 2026-03-23 17:13 by 妹子不好惹
[考研] 石河子大学(211、双一流)硕博研究生长期招生公告 +3 李子目 2026-03-22 3/150 2026-03-22 21:01 by 怎么释怀
[考研] 275求调剂 +6 shansx 2026-03-22 8/400 2026-03-22 15:27 by barlinike
[考研] 初试 317 +7 半拉月丙 2026-03-20 7/350 2026-03-21 22:26 by peike
[考研] 330求调剂0854 +3 assdll 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:01 by 搏击518
[考研] 332求调剂 +3 凤凰院丁真 2026-03-20 3/150 2026-03-21 10:27 by luoyongfeng
[考研] 295复试调剂 +8 简木ChuFront 2026-03-19 8/400 2026-03-20 20:44 by zhukairuo
信息提示
请填处理意见