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wangjm06

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜在管式炉中退火时如需氮气保护,流量一般用多大合适???

如题,薄膜放在管式炉中退火时如需氮气保护,流量一般用多大合适???有没有有经验的虫子?
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avgon

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wangjm06: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢了!! 2012-12-11 11:27:26
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-11 21:55:35
80 - 120 sccm都可以了,管径大的就适当流量大些。因为只是退火,氮气不是反应源,只是保护气体,所以流量控制条件会相对宽松些。
仰望星空脚踏实地
2楼2012-12-11 09:20:23
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