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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 光刻曝光之后有的地方有图案，有的地方没有
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

最好不要用HMDS,你把前烘的温度调高点，180度
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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
11楼2014-04-17 23:05:56
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bda1003848

金虫 (初入文坛)
紧急求助关于光刻显影液与温度的关系的相关文献或者链接，哪位大侠有资料敬请分享给我一下吧！谢谢
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12楼2015-06-09 16:03:36
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