| 查看: 2176 | 回复: 11 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
317001626金虫 (小有名气)
|
[求助]
光刻曝光之后有的地方有图案，有的地方没有 已有1人参与
|
|||
|
最近做光刻，做的是在大面积SiO2衬底上做出微米级的图案，图案均匀分布在衬底表面，可是曝光显影之后发现有的地方有图案而有的地方没有，不知道为何。 甩胶低速５００转／分 ６ｓ；高速２３００转／分 ２０ｓ 前烘：１００度 １０ｍｉｎ 后烘：１２０度 １０ｍｉｎ 曝光时间１５ｓ 显影时间：１ｍｉｎ   |
回复此楼» 猜你喜欢
售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有4人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急
已经有4人回复
-
2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件，有关系吗？
已经有20人回复
-
今天务委会开完了，明天出结果吗
已经有22人回复
-
在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。
已经有9人回复
-
明天应该可查了！？
已经有6人回复
-
有没有大神帮我看看基金代码
已经有10人回复
-
放榜前的不淡定
已经有19人回复
yuanxin5254
金虫 (正式写手)
- 应助: 26 (小学生)
- 金币: 1035.4
- 散金: 165
- 红花: 2
- 帖子: 302
- 在线: 105.3小时
- 虫号: 3010956
- 注册: 2014-03-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
11楼2014-04-17 23:05:56
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-12-10 08:48:33
nofrunolif: 金币+1, 鼓励专家跨版交流 2012-12-10 09:06:38
感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-12-10 08:48:33
nofrunolif: 金币+1, 鼓励专家跨版交流 2012-12-10 09:06:38
|
没图案是什么意思？是光刻胶上没有图案，还是光刻胶都不见了？ 前者需要考察光刻胶有没有曝光，主要关系到光刻机。 后者就是漂胶。石英衬底和一般的胶的粘附性不好，需要用HMDS增粘剂来表面改性，然后涂胶。 另外，你只列出了你的光刻工艺条件，并没有列出你的光刻胶名称和型号，所以那些条件通通没有用。而且工艺条件描述的比较不完全，至少要列出设备是什么设备，以及工作模式。 |
2楼2012-12-09 18:23:34
317001626
金虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1124.1
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 127
- 在线: 51小时
- 虫号: 1246967
- 注册: 2011-03-27
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2012-12-09 19:18:33
317001626
金虫 (小有名气)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 1124.1
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 127
- 在线: 51小时
- 虫号: 1246967
- 注册: 2011-03-27
- 专业: 金属材料表面科学与工程
4楼2012-12-09 19:25:05
