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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 大家光刻后显影时，都如何做呢？
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真空涨落

木虫 (小有名气)

[交流] 大家光刻后显影时，都如何做呢？

总是觉得显影无法控制，就是用最原始的浸没式，通过观察确定时间。
大家是怎么做的呢？是手动还是机器，还是那种喷雾的方法？有什么好用的设备吗？
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1楼 2012-12-05 18:54:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+10, 谢谢你~我还得仔细消化消化~呵呵，期待你的文档哦 2012-12-06 22:35:44
如果第一次做，当然是要通过观察来确定时间。但是一次做好后，基本上就围绕这个时间来做试验了。可以其它条件不变，围绕这个时间多做几个点的试验，找到最佳的时间。
绝大部分实验室是手动的，不用机器，当然用机器好一些，尤其是厚胶，用你提到的spray的方式会更好。但是手动也有很多方法，表面皿浸泡是最常用的，也是最差的方法。镊子要用好，保证能及时捞出，并且及时泡在放水的烧杯里面。或者用花篮承载片子，泡在显影液里，这样控制更准确，重复性更好，而且更容易及时泡水。
不知道你的实验室环境如何，显影液温度是不是稳定，各类器械是否齐全。
其实显影时间和曝光时间以及soft baking时间都是相关联的。曝光时间很好控制，用遮挡板就很容易在一个片子上做多个剂量。soft baking比较难控制，需要好的热板或者烘箱，以及很好的时间控制。对于厚胶，热板更好。
建议这样做光刻试验
烘烤时间温度或时间        曝光剂量                           显影时间  
A                                 4个或8个剂量                    肉眼观察显透后＋5秒
B                                 同上                                同上
C                                 同上                                同上
D                                 同上                                同上

基本上就能找到最优的条件。

有空我可以给大家写个简单文档说明一下最基础的光刻胶条件是怎样摸的。
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2楼2012-12-05 23:03:32
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+3, 嗯，这个貌似很有名，我仔细看看，谢谢 2012-12-06 22:41:57
多做几个参数，确定个最好的点。大片的话机显最好。我用evg的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2012-12-06 08:05:11
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十四格子0503

银虫 (正式写手)
★ ★
真空涨落: 金币+2, 呵呵~哪里有大量做半导体工艺的人大家一起交流呀~ 2012-12-06 22:41:22
同求
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4楼2012-12-06 08:28:08
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真空涨落

木虫 (小有名气)
我还看到一个~Spin Processor EDC650Mz，Manufacturer:Laurell Technology Corporation
想自己做一个~呀呀
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5楼2012-12-06 22:44:25
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 我也想知道呀 2012-12-07 14:44:18
能不能 列些 机显的牌子 型号 什么的？
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7楼2012-12-07 10:53:30
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真空涨落

木虫 (小有名气)
自己继续顶啦~让大家看到~帮忙啦~
讨论一下也可以呀
期待光刻试验条件呀
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8楼2013-01-03 21:58:36
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fafa2013

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+6, 怎么和上次说得差不多呀？我们是同行吧~多联系交流哈~ 2013-05-15 22:06:04
控制光刻间的温度与湿度，控制显影液浓度，多次对比试验
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9楼2013-05-14 11:09:40
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简单回复
8531974866楼
2012-12-06 23:14   回复  
长路漫漫10楼
2013-06-28 10:07   回复  
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