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0605102034

铜虫 (著名写手)

[求助] 薄膜的厚度测试

各位大侠,谁能告诉我一下怎样测定沉积在硅衬底上的金刚石薄膜的厚度,硅片的厚度在50-150μm厚,而膜厚在几微米到几十微米厚,如能告诉一下,不胜感激!!!
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)

引用回帖:
41楼: Originally posted by dgz5530739 at 2013-04-25 16:30:37
AFM看的不是表面粗糙层的高度差嘛?
能看到薄膜的厚度?...

如果是单层膜,或者薄膜厚度在原子力显微镜允许的测量粗糙度范围呢,你可以先将薄膜腐蚀掉一部分,也就是露出衬底,这样衬底与薄膜间就会存在一个台阶,然后利用显微镜可以准确选定原子力的显微镜可以看到台阶,利用轻敲模式测量,最后在测量数据中得到的粗糙度差,大致可以代表薄膜的厚度。明白没?呵呵
天道酬勤
42楼2013-04-25 17:30:51
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honghong_2008

木虫 (小有名气)

爱幻想的女孩

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:09
我们一般都用SEM拍断口图片,或是用千分尺测量。
潜力是需要挖掘的!锲而舍之,朽木不折;锲而不舍,金石可镂
2楼2012-12-03 18:49:47
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zurich0609

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:16
有专门的仪器,测量厚度的,比如表面轮廓仪,就可以用来测量膜厚
有追求,知拼搏,懂坚持,才能体验那份成功!
3楼2012-12-03 19:15:59
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:26
SEM是很好的测试厚度的方法哦。并且你的厚度也比较容易!还有一个叫椭偏仪,但是一般比较少哈

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
奋斗。。。
4楼2012-12-03 19:21:57
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