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做ＢＦＯ薄膜甩胶后烘烤后总是出现裂纹
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我用的是溶胶凝胶做ＢＦＯ薄膜，原来做过的两批都没有出现过这种情况，再后来做的时候，刚甩完一层，放到烘烤台上，就听到裂开的声响，后来试了好几个，还是会裂。 甩胶，和烘烤的条件和原来没出问题的一样，烘烤是先设好温度，等温度稳定，再放上。 是不是胶出问题了，胶中间放到冰箱里，拿出来用过后，没有再放进去，再做就裂了，后来都放里面了。 是不是现在天冷的问题？是不是和环境有关呢？我在超净实验室里做的，基片之前都超声清洗好的。 到底是什么原因会裂呢？？那问大神指点指点我吧！！！我刚做实验，实在是不明白啊。 |
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