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晴天1230

银虫 (初入文坛)

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[求助] 做ＢＦＯ薄膜甩胶后烘烤后总是出现裂纹

　　我用的是溶胶凝胶做ＢＦＯ薄膜，原来做过的两批都没有出现过这种情况，再后来做的时候，刚甩完一层，放到烘烤台上，就听到裂开的声响，后来试了好几个，还是会裂。
　　甩胶，和烘烤的条件和原来没出问题的一样，烘烤是先设好温度，等温度稳定，再放上。
　　是不是胶出问题了，胶中间放到冰箱里，拿出来用过后，没有再放进去，再做就裂了，后来都放里面了。
　　是不是现在天冷的问题？是不是和环境有关呢？我在超净实验室里做的，基片之前都超声清洗好的。
　　到底是什么原因会裂呢？？那问大神指点指点我吧！！！我刚做实验，实在是不明白啊。

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1楼 2012-11-30 22:25:59

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wu1008

金虫 (著名写手)

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引用回帖:

10楼: Originally posted by 晴天1230 at 2012-12-02 14:34:32
原来长在硅片上，五片退火终退都没问题，后来长在铂上，甩完烘烤没什么问题，一退火全裂了，我是升好温度再放的片子，这个应该是我退火不对，应该先放片子设置升温时间。可是再后来甩完一烘烤就裂了
...

你是每层都拿去退火吗？