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晴天1230

银虫 (初入文坛)

[求助] 做ＢＦＯ薄膜甩胶后烘烤后总是出现裂纹

　　我用的是溶胶凝胶做ＢＦＯ薄膜，原来做过的两批都没有出现过这种情况，再后来做的时候，刚甩完一层，放到烘烤台上，就听到裂开的声响，后来试了好几个，还是会裂。
　　甩胶，和烘烤的条件和原来没出问题的一样，烘烤是先设好温度，等温度稳定，再放上。
　　是不是胶出问题了，胶中间放到冰箱里，拿出来用过后，没有再放进去，再做就裂了，后来都放里面了。
　　是不是现在天冷的问题？是不是和环境有关呢？我在超净实验室里做的，基片之前都超声清洗好的。
　　到底是什么原因会裂呢？？那问大神指点指点我吧！！！我刚做实验，实在是不明白啊。
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1楼 2012-11-30 22:25:59
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晴天1230

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by wu1008 at 2012-12-02 14:13:57
长在什么基片上的？
基片可能需要先退一下火...

原来长在硅片上，五片退火终退都没问题，后来长在铂上，甩完烘烤没什么问题，一退火全裂了，我是升好温度再放的片子，这个应该是我退火不对，应该先放片子设置升温时间。可是再后来甩完一烘烤就裂了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2012-12-02 14:34:32
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wujy8364

木虫 (小有名气)

凤凰

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-01 21:01:03
晴天1230: 金币+3, ★有帮助 2012-12-01 21:23:42
我不是做这个的，个人感觉裂开应该是内应力太大吧，考虑一下这方面的因素，比如升温太快什么的！
希望有用
赞一下 回复此楼
就那么回事儿的一个人
2楼2012-12-01 15:42:56
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wu1008

金虫 (著名写手)
chemlh: 欢迎积极交流 2012-12-02 08:37:36
你溶液浓度多少？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2012-12-01 16:08:30
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晴天1230

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wu1008 at 2012-12-01 16:08:30
你溶液浓度多少？

是0.2mol/L
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4楼2012-12-01 21:22:09
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