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RRAM_Tang

金虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶购买 已有2人参与

请问虫友对于波长405nm的光刻,做2um线宽的图形,用什么品牌的光刻胶好?在哪可以购买?价格怎样?
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RRAM_Tang

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-29 17:12:37
你这个是H线的光刻胶,专用的H线胶在市面上比较少,而且多数都不是高分辨率的。
而且现在的光刻设备多数是i线的,你为啥要用h线的?激光直写?
很多i线胶对H线也敏感,你可以尝试一下。

是激光直写,Micro Writer ML这个设备。I线的光刻胶分辨率怎样?你是在哪购买的?
3楼2012-11-29 17:21:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你这个是H线的光刻胶,专用的H线胶在市面上比较少,而且多数都不是高分辨率的。
而且现在的光刻设备多数是i线的,你为啥要用h线的?激光直写?
很多i线胶对H线也敏感,你可以尝试一下。
2楼2012-11-29 17:12:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by RRAM_Tang at 2012-11-29 17:21:12
是激光直写,Micro Writer ML这个设备。I线的光刻胶分辨率怎样?你是在哪购买的?...

给你个i线胶的小样你试一下?
还有就是广谱线的胶,但是比较厚,分辨率也不如i线的,5um肯定没问题,往下的就不好说了,估计要稀释以后用。
话说,你这个简版的直写花了多少钱?咱可以短信说
4楼2012-11-29 19:27:33
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