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RRAM_Tang

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[交流] 光刻胶购买已有2人参与

请问虫友对于波长405nm的光刻，做2um线宽的图形，用什么品牌的光刻胶好？在哪可以购买？价格怎样？

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1楼 2012-11-29 17:01:45

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yswyx

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你这个是H线的光刻胶，专用的H线胶在市面上比较少，而且多数都不是高分辨率的。
而且现在的光刻设备多数是i线的，你为啥要用h线的？激光直写？
很多i线胶对H线也敏感，你可以尝试一下。

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2楼2012-11-29 17:12:37

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RRAM_Tang

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2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-29 17:12:37
你这个是H线的光刻胶，专用的H线胶在市面上比较少，而且多数都不是高分辨率的。
而且现在的光刻设备多数是i线的，你为啥要用h线的？激光直写？
很多i线胶对H线也敏感，你可以尝试一下。

是激光直写，Micro Writer ML这个设备。I线的光刻胶分辨率怎样？你是在哪购买的？

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3楼2012-11-29 17:21:12

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