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汕头大学海洋科学接受调剂
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RRAM_Tang

金虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶购买 已有2人参与

请问虫友对于波长405nm的光刻，做2um线宽的图形，用什么品牌的光刻胶好？在哪可以购买？价格怎样？
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yswyx的关于光刻的各种回复

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1楼 2012-11-29 17:01:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你这个是H线的光刻胶，专用的H线胶在市面上比较少，而且多数都不是高分辨率的。
而且现在的光刻设备多数是i线的，你为啥要用h线的？激光直写？
很多i线胶对H线也敏感，你可以尝试一下。
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2楼2012-11-29 17:12:37
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RRAM_Tang

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-29 17:12:37
你这个是H线的光刻胶，专用的H线胶在市面上比较少，而且多数都不是高分辨率的。
而且现在的光刻设备多数是i线的，你为啥要用h线的？激光直写？
很多i线胶对H线也敏感，你可以尝试一下。

是激光直写，Micro Writer ML这个设备。I线的光刻胶分辨率怎样？你是在哪购买的？
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3楼2012-11-29 17:21:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by RRAM_Tang at 2012-11-29 17:21:12
是激光直写，Micro Writer ML这个设备。I线的光刻胶分辨率怎样？你是在哪购买的？...

给你个i线胶的小样你试一下？
还有就是广谱线的胶，但是比较厚，分辨率也不如i线的，5um肯定没问题，往下的就不好说了，估计要稀释以后用。
话说，你这个简版的直写花了多少钱？咱可以短信说
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4楼2012-11-29 19:27:33
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
咨询汇德信
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5楼2012-11-30 08:53:49
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