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怎么制备纳米级薄膜
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大家好， 因为马上要实验了，需要一些薄膜，但我本人又不是做薄膜的，真的不知道该用什么仪器才能做出我要的薄膜，或者买也行，但我一点头绪也没有。下面是我需要薄膜的一些信息，请大家给我提一下建议，非常感谢！ 硅做沉底（N型或P型），在上面沉底一层氧化物薄膜，可以是SiO2，ZrO2，TiO2，Al2O3，Y2O3，La2O3，BeO，Ta2O5等，只要几种就行，或者只能做一种也行，厚度可以从0到几十个纳米之间调控，均匀度要好。 下个月要试验了，可是却没有样品，真的很着急。希望有薄膜领域的专家给我一些建议，非常非常感谢了！ |
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2楼2012-11-29 11:13:59
