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文献中的epi-ready si/wafer 什么意思啊
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monserdxw
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文献中的epi-ready si/wafer 什么意思啊
外延准备好的 是指什么呢?
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1楼
2012-11-28 15:21:49
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monserdxw
金虫
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3楼
:
Originally posted by
阿波罗130
at 2012-11-28 21:00:09
可以直接用来外延生长的
那是怎么处理的呢 什么样的算可用来外延生长的
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5楼
2012-11-29 16:07:51
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阿波罗130
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2012-11-29 16:06:35
可以直接用来外延生长的
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3楼
2012-11-28 21:00:09
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kuren
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3楼
:
Originally posted by
阿波罗130
at 2012-11-28 21:00:09
可以直接用来外延生长的
楼上正解
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4楼
2012-11-28 21:39:07
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感谢参与,应助指数 +1
epitaxy的简写epi,外延的意思;已经外延好的wafer。
你那个paper上说的单晶硅片吧!
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6楼
2012-11-30 09:25:28
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