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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于BPG400真空计的问题，求助
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sauberyang

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于BPG400真空计的问题，求助 已有1人参与

实验室买了一台进口的溅射设备，用的就是inficon的BPG400真空计。

这个真空计位于分子泵和闸板阀之间，最近总是出问题。

每次从低真空跳到高真空，真空读数直接显示10E-11Torr，设备判断

真空计损坏，我换了三个传感器了，每次用不几天就坏了，请问有没有大神

了解这个东西的，到底是什么原因导致真空计频繁出问题，指教一二。
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1楼 2012-11-26 19:13:08
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wdxzcuyms

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

好奇为什么真空计不放主腔而放闸板阀和分子泵之间。
出问题看说明书是正道。
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2楼2018-03-29 14:24:46
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