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sauberyang新虫 (初入文坛)
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关于BPG400真空计的问题,求助 已有1人参与
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实验室买了一台进口的溅射设备,用的就是inficon的BPG400真空计。 这个真空计位于分子泵和闸板阀之间,最近总是出问题。 每次从低真空跳到高真空,真空读数直接显示10E-11Torr,设备判断 真空计损坏,我换了三个传感器了,每次用不几天就坏了,请问有没有大神 了解这个东西的,到底是什么原因导致真空计频繁出问题,指教一二。 |
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