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sauberyang新虫 (初入文坛)
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关于BPG400真空计的问题，求助已有1人参与
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实验室买了一台进口的溅射设备，用的就是inficon的BPG400真空计。 这个真空计位于分子泵和闸板阀之间，最近总是出问题。 每次从低真空跳到高真空，真空读数直接显示10E-11Torr，设备判断 真空计损坏，我换了三个传感器了，每次用不几天就坏了，请问有没有大神 了解这个东西的，到底是什么原因导致真空计频繁出问题，指教一二。 |
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2楼2018-03-29 14:24:46