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husthuangbin金虫 (小有名气)
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[交流]
半导体电性能测试，Si片背面电极制备 已有4人参与
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大家好，目前我在做MOS的电性能测试（CV、IV），但是实验室的探针台只能在正面扎针，请问怎样才能将Si片背面的电极引出来呢？ 此外我试过用HF酸去除部分硅片表面的绝缘层，制作了如下的表面电极结构，但是测试之后得到的CV曲线与使用的Si片趋势刚好相反，我使用的基底是P型硅，得到的却是N型硅的CV曲线，请问这会不会可能是HF酸没有腐蚀干净呢？  图片1.png  CV-test-HF-750um-different frequency.jpg |
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 半导体技术 |
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husthuangbin
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6楼2012-11-20 08:20:35
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